S-LABO ML系列 低壓用
●為了應(yīng)對(duì)腐蝕性特別高的氣體,主體材質(zhì)采用了蒙奈爾(鎳合金)。
●為了降低外部泄漏量并維持純度,采用SUS316L金屬隔膜。
●為了保持純度,在等級(jí)10000的無(wú)塵室生產(chǎn)。(黃銅制除外)
●為了保持純度,閥可在真空下使用,使用氟素潤(rùn)滑油。
●為了防止流出,在入口側(cè)內(nèi)置過(guò)濾器。
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